電容式差壓變送器的工作原理是什麼?有何特點(diǎn)？

電容式差壓變送器是20世紀(jì)80年代研制開發(fā)的新型差壓變送器，它利用單晶矽諧振傳感器，采用微電子表面加工技術(shù)，除了保證±0.2%的測(cè)量精度外，還可實(shí)現(xiàn)抵制靜壓、溫飄對(duì)其影響。由於配備了低噪聲調(diào)制解調(diào)器和開放式通訊協(xié)議，目前的電容式差壓變送器可實(shí)現(xiàn)數(shù)字無損耗信號(hào)傳輸。

1.結(jié)構(gòu)及工作原理

變送器主要有檢測(cè)部分和信號(hào)轉(zhuǎn)換及放大處理部分組成。檢測(cè)部分由檢測(cè)膜片和兩側(cè)固定弧形板組成，檢測(cè)膜片在壓差的作用下可軸向移動(dòng)，形成可移動(dòng)電容極板，並和固定弧形板組成兩個(gè)可變電容器C1和C2。檢測(cè)前，高、低壓室壓力平衡，P1 =P2；按結(jié)構(gòu)要求，組成兩可變電容的固定弧形極板和檢測(cè)膜片對(duì)稱，極間距相等，C1 =C2。當(dāng)被測(cè)壓力P1和P2分別由導(dǎo)入管進(jìn)入高、低壓室時(shí)，由於P1 >P2隔離膜片中心將發(fā)生位移，壓迫電解質(zhì)使高壓側(cè)容積變小。當(dāng)電解質(zhì)為不可壓縮體時(shí)，其容積變化量將引起檢測(cè)膜片中心向低壓側(cè)位移，此位移量和隔離膜片中心位移量相等。根據(jù)電工學(xué)，當(dāng)組成電容的兩極板極間距發(fā)生變化時(shí)，其電容量也將發(fā)生變化，即從C1=C2變?yōu)镃1≠C2。

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